Global LAnd Surface Satellite (GLASS) Products
Shunlin Liang, Xiaotong Zhang, Zhiqiang Xiao, Jie Cheng, Qiang Liu, Xiang Zhao
Häftad
539 kr
Research on Chemical Mechanical Polishing Mechanism of Novel Diffusion Barrier Ru for Cu Interconnect
Häftad, Engelska, 2019
Del i serien Springer Theses
1 071 kr
Beställningsvara. Skickas inom 10-15 vardagar. Fri frakt över 249 kr.
Fler format och utgåvor
Beskrivning
This thesis addresses selected unsolved problems in the chemical mechanical polishing process (CMP) for integrated circuits using ruthenium (Ru) as a novel barrier layer material.
Produktinformation
Utforska kategorier
Innehållsförteckning
Hoppa över listan
Mer från samma serie
Second-Generation High-Temperature Superconducting Coils and Their Applications for Energy Storage
Weijia Yuan
Inbunden
1 064 kr
Multiscale and Multiphysics Computational Frameworks for Nano- and Bio-Systems
Hyungjun Kim
Inbunden
1 071 kr
Atomic Scale Characterization and First-Principles Studies of Si₃N₄ Interfaces
Weronika Walkosz
Inbunden
1 071 kr
Search for Muon Neutrino to Electron Neutrino Oscillations in the MINOS Experiment
Juan Pedro Ochoa-Ricoux
Inbunden
1 071 kr
Quantum Phase Transitions in Cold Atoms and Low Temperature Solids
Kaden Richard Alan Hazzard
Inbunden
1 071 kr
Characterization of Terahertz Emission from High Resistivity Fe-doped Bulk Ga0.69In0.31As Based Photoconducting Antennas
Suranjana Sengupta
Inbunden
1 071 kr
Hoppa över listan
Du kanske också är intresserad av
Global LAnd Surface Satellite (GLASS) Products
Shunlin Liang, Xiaotong Zhang, Zhiqiang Xiao, Jie Cheng, Qiang Liu, Xiang Zhao
Häftad
539 kr
- 10% rabatt på allt
Tsaren i egen hög person : hur Vladimir Putin lurade oss alla
Roman Badanin, Michail Rubin
Inbunden
349 kr
- -21%
- -30%
Del 2
- 10% rabatt på allt
Del 2
- Nyhet
- -30%
- 4 för 3
Del 1
- 4 för 3