• Fri frakt över 249 kr
  • •
  • Snabba leveranser
  • •
  • Billiga böcker
Kundservice

Du är på sajten för privatpersoner.

Företag, bibliotek eller offentlig verksamhet?

Du handlar på classic.bokus.com, där alla dina funktioner finns intakta.
Till classic.bokus.com
Bokus logotyp. Gå till startsidan.
  • Erbjudanden
  • Nyheter
  • Student
  • Topplistor
  • Barn & ungdom
  • Bokus Play
  • E-böcker
  • Pocketböcker
  • Spel & pussel

10% studentrabatt med kod TERM26

Sidfot

Mina sidor

    Hjälp

    • Kundservice
    • Vanliga frågor och svar
    • Frakt och leverans
    • Retur vid ångerrätt
    • Reklamera vara
    • Betalning
    • Köpvillkor
    • Allmänna villkor
    • Information om webbplatsens tillgänglighet

    Om Bokus

    • Om oss
    • Pressrum
    • För studenter
    • För företag
    • För bibliotek och offentlig verksamhet
    • För leverantörer
    • Hållbarhet

    Populärt

    • Aktuella erbjudanden
    • Presentkort
    • Studentlitteratur
    • Nya böcker
    • Topplistor
    • Signerade böcker
    • Engelska böcker

    Inspiration

    • Boktips
    • BookTok
    • Populära bokserier
    • Barnbokskaraktärer
    • Populära författare

    Mina sidor

      Hjälp

      • Kundservice
      • Vanliga frågor och svar
      • Frakt och leverans
      • Retur vid ångerrätt
      • Reklamera vara
      • Betalning
      • Köpvillkor
      • Allmänna villkor
      • Information om webbplatsens tillgänglighet

      Om Bokus

      • Om oss
      • Pressrum
      • För studenter
      • För företag
      • För bibliotek och offentlig verksamhet
      • För leverantörer
      • Hållbarhet

      Populärt

      • Aktuella erbjudanden
      • Presentkort
      • Studentlitteratur
      • Nya böcker
      • Topplistor
      • Signerade böcker
      • Engelska böcker

      Inspiration

      • Boktips
      • BookTok
      • Populära bokserier
      • Barnbokskaraktärer
      • Populära författare
      Logotyp för Bokus
      Följ oss på Facebook (extern länk)Följ oss på Instagram (extern länk)Följ oss på YouTube (extern länk)Följ oss på TikTok (extern länk)
      bokus @ CookiesAnpassa cookiesIntegritetspolicyKöpvillkor
      Till Citymail hemsida (extern länk)Till Budbee hemsida (extern länk)Till Postnord hemsida (extern länk)Till Schenker hemsida (extern länk)Till Early Bird hemsida (extern länk)Till Walleys hemsida (extern länk)
      1. Naturvetenskap och teknik
      2. Matematik och naturvetenskap
      3. Kemi
      4. Fysikalisk kemi

      PVD for Microelectronics: Sputter Desposition to Semiconductor Manufacturing

      Inbunden, Engelska, 1998

      Del 26 i serien Thin Films

      1 622 kr

      Beställningsvara. Skickas inom 10-15 vardagar. Fri frakt över 249 kr.

      Beskrivning

      Physics of Thin Films is one of the longest running continuing series in thin film science, consisting of 25 volumes since 1963. The series contains quality studies of the properties of various thin films materials and systems.
      In order to be able to reflect the development of today's science and to cover all modern aspects of thin films, the series, starting with Volume 20, has moved beyond the basic physics of thin films. It now addresses the most important aspects of both inorganic and organic thin films, in both their theoretical as well as technological aspects. Therefore, in order to reflect the modern technology-oriented problems, the title has been slightly modified from Physics of Thin Films to Thin Films.

      This volume, part of the Thin Films Series, has been wholly written by two authors instead of showcasing several edited manuscripts.

      Produktinformation

      • Utgivningsdatum:1998-10-29
      • Mått:152 x 229 x undefined mm
      • Vikt:810 g
      • Format:Inbunden
      • Språk:Engelska
      • Serie:Thin Films
      • Antal sidor:419
      • Förlag:Elsevier Science
      • ISBN:9780125330268

      Utforska kategorier

      • Fysikalisk kemi inom Naturvetenskap och teknik
      • Materietillstånd inom Naturvetenskap och teknik
      • Maskinteknik och material inom Naturvetenskap och teknik

      Mer om författaren

      Ronald A. Powell. Palo Alto, California. Novellus Systems, Inc., Palo Alto California - Stephen M. Rossnagel. Yorktown Heights, New York. IBM Corporation, T.J. Watson Research Center, Yorktown Heights, New York

      Innehållsförteckning

      • Useful Conversion Factors and ConstantsIntroductionPhysics of SputteringPlasma SystemsThe Planar MagnetronSputtering ToolsDirectional DepositionPlanarized PVD: Use of Elevated Temperature and/or High PressureIonized Magnetron Sputter DepositionPVD Materials and ProcessesProcess Modeling for Magnetron DepositionSputtering Targets
      Hoppa över listan

      Du kanske också är intresserad av

      Advances in Research and Development, Inbunden
      Del 21

      Advances in Research and Development

      Elsevier Science

      Inbunden, 1995

      555 kr

      Åsa Jonsson - Helt orimligt : en hemmasittares berättelse, Kartonnage
      • Nyhet

      Helt orimligt : en hemmasittares berättelse

      Åsa Jonsson

      Kartonnage, 2026

      249 kr

      Klara Peters Bastin - SIGNERAD - Om julens wälgång, Inbunden
      • Signerad!

      SIGNERAD - Om julens wälgång

      Klara Peters Bastin

      Inbunden, 2026

      249 kr

      Vendela Blomström, Jeanna Wennerberg - Akademiskt läsande och skrivande, Häftad
      • -10% student

      Akademiskt läsande och skrivande

      Vendela Blomström, Jeanna Wennerberg

      Häftad, 2026

      421 kr

      Johan Munck - Sveriges Rikes Lag 2026 klotband, Inbunden
      • -10% student

      Sveriges Rikes Lag 2026 klotband

      Johan Munck

      Inbunden, 2026

      5,0 utav 5 stjärnor. Totalt antal röster:(3)

      1 579 kr

      Roland Paulsen - Avbegåvad : en essäberättelse om arv och miljö, Inbunden
      • -15%

      Avbegåvad : en essäberättelse om arv och miljö

      Roland Paulsen

      Inbunden, 2026

      225 kr265 kr

      Clara Lidström - SIGNERAD - Hemmets almanacka : underbara 2027, Inbunden
      • Signerad!

      SIGNERAD - Hemmets almanacka : underbara 2027

      Clara Lidström

      Inbunden, 2026

      239 kr

      Anna Meeuwisse, Hans Swärd, Sune Sunesson, Marcus Knutagård - Socialt arbete : en grundbok, Inbunden
      • -10% student

      Socialt arbete : en grundbok

      Anna Meeuwisse, Hans Swärd, Sune Sunesson, Marcus Knutagård

      Inbunden, 2024

      4,0 utav 5 stjärnor. Totalt antal röster:(1)

      581 kr

      Peter Englund - Om att misslyckas, Inbunden
      • -17%

      Om att misslyckas

      Peter Englund

      Inbunden, 2026

      3,9 utav 5 stjärnor. Totalt antal röster:(8)

      199 kr239 kr

      Åse Falkman Fredrikson, Anna Hallén - Kaos i klimakteriet : lösningar som fungerar, Inbunden
      • Hälsa

      Kaos i klimakteriet : lösningar som fungerar

      Åse Falkman Fredrikson, Anna Hallén

      Inbunden, 2026

      269 kr