1. Einleitung.- 2. Grundlagen der Sekundärionenemission.- 3. Die statische Methode der Sekundärionen-Massenspektrometrie.- 4. Apparatur.- 5. Die chemische Sekundärionenemission von Anionenkomplexen.- 6. Abtragung monomolekularer und mehrere Monolagen dicker Schichten durch Ionenbeschuß.- 7. Die Oxidation von Metallen im Monolagenbereich.- 8. Das Wertigkeitsmodell.- 9. Anwendung des Wertigkeitsmodells auf Sauerstoffexposition und Ionenbeschußdesorption (“dynamisches Wertigkeitsmodell”).- 10. Die Grenzen der Anwendbarkeit des Wertigkeitsmodells.- Literatur.- Tabellen.- Abbildungen.