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Prozeßtechnologie

Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen

AvGünter Schumicki,Peter Seegebrecht

Häftad, Tyska, 1991

Del i serien Mikroelektronik

817 kr

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Produktinformation

Utgivningsdatum:1991-03-08
Mått:170 x 244 x 28 mm
Vikt:887 g
Format:Häftad
Språk:Tyska
Serie:Mikroelektronik
Antal sidor:500
Förlag:Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
ISBN:9783540176701

Utforska kategorier

Elektronik och kommunikationer inom Naturvetenskap och teknik

Innehållsförteckning

1 Einleitung.- 2 Reinstraumtechnologie.- 3 Materialtechnologie.- 4 Strukturerzeugung.- 5 Strukturübertragung.- 6 Thermische Oxidation.- 7 CVD-Verfahren.- 8 Metallisierung.- 9 Diffusionsverfahren.- 10 Ionenimplantation.- 11 Reinigungsverfahren.- 12 Prozeßintegration.- 13 Design-Regeln.- 14 Prozeßcharakterisierung.- 15 Prozeßkontrolle.- 16 Ausbeute und Zuverlässigkeit.

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