Sensoranwendungen

Prof. Dr. Dr. h.c. Hanno Schaumburg, Leiter Koordinierungsstelle Osteuropa/NUS, TU Hamburg-Harburg

• I. Temperatursensoren.- I-1 Keramische und Silizium-Temperatursensoren und ihre Anwendungen.- I-2 Temperatur- und Luftstrommessung mit Iasergetrimmten Si-/Permalloy-Temperatursensoren.- I-3 Temperaturerfassung mit Schwingquarzsensoren.- I-4 Industrielle Meßtechnik mit Pt-Schichtmeßwiderständen.- II. Kraft- und Drucksensoren.- II-1 Piezoresistive Drucksensoren mit ionenimplantierter Vollbrücke.- II-2 Kenngrößen von piezoresistiven Silizium-Elementardrucksensoren.- II-3 Piezoresistive Drucksensoren mit Polysilizium-Dehnungsmeßstreifen.- II-4 Ein elektronisches Manometer mit Dünnfilm-DMS-Drucksensor.- II-5 Digitale Höchstpräzisions-Druckmessung durch Schwingquarz-Verfahren.- II-6 Innovative Druckmeßtechnik mit Keramiktechnologie.- II-7 Anwendungsbeispiele für piezoelektrische Kraft-, Dehnungs-, Druck- und Beschleunigungs-Sensoren.- III. Magnetsensoren.- III-1 Anwendungen von magnetogalvanischen Halbleitersensoren.- III-2 Analoge und digitale Halleffektsensoren auf Siliziumbasis.- III-3 Magnetfeldsensoren auf Metallpermalloy-Basis und ihre Applikationsfelder.- IV. Optische und Strahlungssensoren.- IV-1 Technologie und Anwendung bipolarer Fotodetektoren.- IV-2 Anwendung optischer Sensoren in Empfängern für Systeme zur Überwachung oder Datenübertragung mit Licht.- IV-3 Infrarotsensoren.- IV4 Bildverstärker.- V. Chemische Sensoren.- V-1 Gassensoren und ihr Einsatz in Gaswarngeräten.- V-2 ZrO2-Lambda-Sonden für die Gemischregelung im Kraftfahrzeug.- Stichwortverzeichnis.