Einführung.- 1 Grundlagen der Entladungsgeräte.- I. Elementarteilchen und Atommodelle.- II. Thermische Elektronenquellen.- III. Photo-, Sekundär- und Feldemissions-Elektronenquellen.- IV. Kernstrahlungsquellen.- VI. Teilchenströme in Hochyakuum-Entladungsstrecken.- VII. Grundlagen der geometrischen Elektronenoptik.- VIII. Wirkungsweise stromsteuernder Hoch Vakuumröhren.- IX. Teilchenströme in Gasentladungsstrecken.- X. Teilchenströme in Halbleitern.- XI. Literaturverzeichnis zum Kapitel 1.- 2 Hochvakuumtechnik und Herstellungsprozesse der Entladungsgeräte.- I. Wechselwirkung von Teilchen mit Gasen und Dämpfen.- II. Wechselwirkung von Elektronen mit Festkörpern 238.- III. Entgasungs- und Getterprozesse.- IV. Vakuummeßtechnik und -meßgeräte.- V. Vakuumpumpen.- VI. Hochyakuumanlagen.- VII. Typische Fertigungsverfahren für Elektronengeräte.- VIII. Literaturverzeichnis zum Kapitel 2.
