Zusammenfassung.- I. Einleitung.- II. Rutherford-Rückstreuung.- 1. Theoretische Grundlagen.- 2. Erklärung der Rückstreuspektren.- 3. Lineare Näherung für dünne Targets.- 4. Höhe des Energiespektrums.- III. Experimenteller Aufbau.- 1. Allgemeine Bedingungen, Strahl und Streukammer.- 2. Meßelektronik.- 3. Elektrostatischer Analysator (ESA).- IV. Spektrensimulation per Rechenmaschine.- 1. Programmbeschreibung.- 2. Schematische Gliederung des Programms.- 3. Berücksichtigung der Detektorauflösung.- 4. Simulation inhomogener Targets.- V. Anwendungsbeispiele und Diskussion einiger Spektren.- 1. Dickenbestimmung dünner Folien.- 2. Dickenbestimmung von Oberflächenverunreinigungen.- 3. Analyse und Tiefenprofile dünner Schichten.- 4. Quantitative Analyse homogener Gemische.- VI. Schlußbetrachtung.- Bilderverzeichnis.
