Bokus

M. Sugawara – författare

Visar alla böcker från författaren M. Sugawara. Handla med fri frakt och snabb leverans.

1 produkter

  1. M. Sugawara - Plasma Etching, Inbunden. Tillgänglighet: Lägg i varukorg

    Plasma Etching

    Fundamentals and Applications

    Av M. Sugawara

    Inbunden, 1998

    3910 kr

    Lägg i varukorg

    The focus of this book is the remarkable advances in understanding of low pressure RF (radio frequency) glow discharges. A basic analytical theory and plasma physics are explained. Plasma diagnostics are also covered before the practicalities of etcher use are explored.