M. Sugawara – författare
Visar alla böcker från författaren M. Sugawara. Handla med fri frakt och snabb leverans.
1 produkter
Plasma Etching
Fundamentals and Applications
Av M. Sugawara
Inbunden, 1998
3910 kr
Lägg i varukorg
The focus of this book is the remarkable advances in understanding of low pressure RF (radio frequency) glow discharges. A basic analytical theory and plasma physics are explained. Plasma diagnostics are also covered before the practicalities of etcher use are explored.