Mikromechanik

"... ein wesentlicher Beitrag zu diesem sich rasch entwickelnden Gebiet ... hat es verstanden, die Beiträge hervorragender Fachleute ... zu einem Lehr- und Nachschlagewerk zu verbinden, das einen vollständigen Überblick über den Stand der Mikrostrukturtechnik gibt und dem Fachmann eine Fülle von Detailwissen vermittelt. ... der Stoff sorgfältig ausgewählt und behandelt und vom Bildmaterial sowie der graphischen Gestaltung her von hoher Qualität. ..." (Der Fraunhofer) "...helfen ausgewählte Beispiele, den Anwendungsbezug zu dem zuvor Beschriebenen herzustellen. ... Einige Bemerkungen über die Mikromechanik als künftige Basis der Systemintegration und ein ausführliches Sachverzeichnis runden das Gesamtwerk ab. Es liegt in der ... bekannten hochwertigen Qualität in Text, Grafik und Bildwiedergabe vor. ..." (Werkstattstechnik)

• 1. Aufgabenstellung der Mikromechanik (Heuberger).- 2. Physikalische Grundlagen der Mikromechanik.- 2.1 Mechanische und thermische Eigenschaften von Strukturen und Materialien für die Mikromechanik (Bernt).- 2.2 Physikalische Effekte zur Signalwandlung (Benecke).- 3. Die Technologie der Mikromechanik.- 3.1 Abriß der Siliziumtechnologie als gemeinsame Grundlage von Mikroelektronik und Mikromechanik (Heuberger).- 3.2 Naßchemische Tiefenätztechnik (Seidel).- 3.3 Einsatz von Ionentechniken (Pelka/Weigmann).- 3.4 Neue Prozeßtechniken in der Mikromechanik (Csepregi).- 3.5 Tiefenlithographie und Abformtechnik (Huber/Betz).- 3.6 Laserinduzierte Prozesse (Petzold).- 3.7 Integration von Mikromechanik und Mikroelektronik auf einem Siliziumchip (Benecke).- 4. Nutzung der Mikromechanik in Anwendungen.- 4.1 Grundstrukturen und Elemente der Mikromechanik (Benecke).- 4.2 Anwendungen mlkromechanischer Bauelemente und Komponenten (Benecke).- 4.2.1.1 Drucksensoren.- 4.2.1.2 Beschleunigungs- und Vibrationssensoren.- 4.2.1.3 Kraftsensoren.- 4.2.1.4 Fluß- und Strömungssensoren.- 4.2.1.5 Strahlungsdetektoren.- 4.2.1.6 Gassensoren.- 4.3 Bauelemente für konstruktive Probleme in verschiedenen Bereichen der Technik (Benecke).- 4.4 Mikromechanik in der integrierten Optoelektronik (Deimel).- 4.5 Mikromechanik und Chipverbindungstechnik (Reichl).- 5. Die Mikromechanik als zukünftige Basis der Systemintegration (Heuberger).