Anton Heuberger – författare
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2 produkter
Mikromechanik
Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie
Häftad, 2012
820 kr
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Mikromechanik behandelt die physikalischen Grundlagen dieser jungen, zukunftsträchtigen Disziplin, ihre Technologie, aufbauend auf der Siliziumtechnologie, und ihre Nutzung in den verschiedensten Anwendungen der Bereiche Sensorik, Aktuatorik und integrierte Optoelektronik. Das Buch ist …
ESSDERC ’89
19th European Solid State Device Research Conference, Berlin
Av Anton Heuberger, Heiner Ryssel m. fl.
Häftad, 2012
551 kr
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The conference ESSDERC '89 held in September 1989 in Berlin was concerned with the physics, electrical characteristics, reliability and processing of solid state devices and electronic materials. The proceedings contain all invited and contributed papers of the conference and thus becomes a …
