Mikrosystemtechnik

Vom Transistor zum Biochip

AvStephanus Büttgenbach

Häftad, Tyska, 2016

Del i serien Technik im Fokus

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Beskrivning

Was ist Mikrosystemtechnik? Welche Rolle spielt sie in Technik und Wirtschaft? Welche Produkte gibt es? Wie stellt man sie her? Mikrosysteme werden heute erfolgreich in vielen Anwendungsfeldern eingesetzt: von der Fahrzeugtechnik über die Biomedizintechnik und Kommunikationstechnik bis zum Umweltschutz. Es sind kleine Produkte mit großer Wirkung: die einzelnen Komponenten können einige Mikrometer groß sein, die ganzen Systeme meist einige Millimeter. Der Autor beschreibt die technische Entwicklung der Mikrosystemtechnik und erläutert an Hand typischer Anwendungen ihre Bauweise, Funktion und Herstellung. Und er geht auf die zukünftigen Trends dieser Schlüsseltechnologie ein.

Produktinformation

Utgivningsdatum:2016-11-15
Mått:127 x 190 x 9 mm
Vikt:187 g
Format:Häftad
Språk:Tyska
Serie:Technik im Fokus
Antal sidor:151
Upplaga:16001
Förlag:Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
ISBN:9783662497722

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Mer om författaren

Stephanus Büttgenbach ist ein Experte der Mikrosystemtechnik. Er arbeitet seit 1985 in Forschung, Entwicklung und Lehre auf diesem Gebiet in Industrie und Universität. Er ist in nationalen und europäischen Fachgesellschaften engagiert.

Recensioner i media

“… Das Büchlein, das weder Lehrbuch noch sytematisches Kompendium ist, kann allen bestens empfohlen werden, die sich für Mikrosystemtechnik interessieren und einen knappen (ca. 150 Seiten) aber fundierten Einblick in diese Technik suchen.” (Karl Schäfer, in: Amazon.de, 14. Mai 2017)

Innehållsförteckning

Einleitung.- Transistor und Halbleitertechnik.- Piezoresistiver Effekt.- Bulk Micromachining.- LIGA-Verfahren.- Surface Micromachining.- Atomic Force Microscope (AFM).- Entwicklung von Ultrakurzpulslasern.- µTAS (Micro Total Analysis System)-Konzept.- Deep Reactive Ion Etching (DRIE).- Soft-Lithografie.- Die Zukunft.