Stephanus Büttgenbach ist ein Experte der Mikrosystemtechnik. Er arbeitet seit 1985 in Forschung,  Entwicklung und Lehre auf diesem Gebiet in Industrie und Universität. Er ist in nationalen und europäischen Fachgesellschaften engagiert.

“… Das Büchlein, das weder Lehrbuch noch sytematisches Kompendium ist, kann allen bestens empfohlen werden, die sich für Mikrosystemtechnik interessieren und einen knappen (ca. 150 Seiten) aber fundierten Einblick in diese Technik suchen.” (Karl Schäfer, in: Amazon.de, 14. Mai 2017)

• Einleitung.- Transistor und Halbleitertechnik.- Piezoresistiver Effekt.- Bulk Micromachining.- LIGA-Verfahren.- Surface Micromachining.- Atomic Force Microscope (AFM).- Entwicklung von Ultrakurzpulslasern.- µTAS (Micro Total Analysis System)-Konzept.- Deep Reactive Ion Etching (DRIE).- Soft-Lithografie.- Die Zukunft.

Stephanus Büttgenbach ist ein Experte der Mikrosystemtechnik. Er arbeitet seit 1985 in Forschung,  Entwicklung und Lehre auf diesem Gebiet in Industrie und Universität. Er ist in nationalen und europäischen Fachgesellschaften engagiert.

“… Das Büchlein, das weder Lehrbuch noch sytematisches Kompendium ist, kann allen bestens empfohlen werden, die sich für Mikrosystemtechnik interessieren und einen knappen (ca. 150 Seiten) aber fundierten Einblick in diese Technik suchen.” (Karl Schäfer, in: Amazon.de, 14. Mai 2017)

• Einleitung.- Transistor und Halbleitertechnik.- Piezoresistiver Effekt.- Bulk Micromachining.- LIGA-Verfahren.- Surface Micromachining.- Atomic Force Microscope (AFM).- Entwicklung von Ultrakurzpulslasern.- µTAS (Micro Total Analysis System)-Konzept.- Deep Reactive Ion Etching (DRIE).- Soft-Lithografie.- Die Zukunft.

Stephanus Büttgenbach ist ein Experte der Mikrosystemtechnik. Er arbeitet seit 1985 in Forschung,  Entwicklung und Lehre auf diesem Gebiet in Industrie und Universität. Er ist in nationalen und europäischen Fachgesellschaften engagiert.

“… Das Büchlein, das weder Lehrbuch noch sytematisches Kompendium ist, kann allen bestens empfohlen werden, die sich für Mikrosystemtechnik interessieren und einen knappen (ca. 150 Seiten) aber fundierten Einblick in diese Technik suchen.” (Karl Schäfer, in: Amazon.de, 14. Mai 2017)

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