Modelling of Microfabrication Systems

AvRaja Nassar,Weizhong Dai

Inbunden, Engelska, 2003

1 589 kr

Beställningsvara. Skickas inom 10-15 vardagar. Fri frakt över 249 kr.

Fler format och utgåvor

Beskrivning

This is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology, ranging from ion beam micromachining to x-ray lithography.

Produktinformation

Utforska kategorier

Recensioner i media

Innehållsförteckning

Hoppa över listan

Mer från samma serie

Hoppa över listan

Du kanske också är intresserad av